說(shuō)明：
QF 系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺(tái)。該系列滑臺(tái)具有 高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu)，工作過(guò)程沒(méi)有摩擦， 無(wú)灰塵產(chǎn)生，沒(méi)有爬行現(xiàn)象。直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，齒槽小，分辨率高，輕松實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定 位需求。產(chǎn)品尺寸較多，可以根據(jù)需要靈活選擇， QF 系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對(duì)于 精密位移亞微米級(jí)調(diào)整有需求的客戶(hù)。臺(tái)面多種標(biāo)準(zhǔn)孔位的安裝孔適合不同需要，下方標(biāo)準(zhǔn)固定 孔方便將其與其他滑臺(tái)連接，組成多維移動(dòng)臺(tái)。
特點(diǎn)：
· 采用氣浮靜壓導(dǎo)軌，運(yùn)動(dòng)無(wú)爬 行，直線度好，負(fù)載可控制， 穩(wěn)定性好；
· 采用直線電機(jī)，微步能力好，驅(qū) 動(dòng)力可控，速度穩(wěn)定；
QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)命名規(guī)則：
QF 25-300 S-BNA
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QF 系列代碼：
QF:單軸空氣軸承類(lèi)滑臺(tái) QFD:XY組合空氣軸承類(lèi)滑臺(tái)
QFH:龍門(mén)組合空氣軸承類(lèi)滑臺(tái)
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25 臺(tái)面寬度：
25:250mm 30:300mm
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300 有效行程：
100:100mm 200:200mm
300:300mm
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S 基座材質(zhì)：
A:鋁合金
S:大理石
C:碳化硅
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B 分辨率：
1:0.1 μm S:50nm
B:20nm
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N 電機(jī)類(lèi)型：
N:無(wú)鐵芯
M:有鐵芯
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A 臺(tái)面材質(zhì)：
A:鋁合金
T:其它
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以上命名規(guī)則除技術(shù)規(guī)格列表內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，其余配置請(qǐng)聯(lián)系銷(xiāo)售進(jìn)行定制。
QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)選項(xiàng)表
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型號(hào)
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QF25-100A-BNA
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QF25-200A-BNA
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QF25-300A-BNA
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QF25-400A-BNA
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臺(tái)面尺寸(mm)
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245x200(運(yùn)動(dòng)方向)
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厚度(mm)
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120
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移動(dòng)量(mm)
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100
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200
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300
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400
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光柵尺分辨率(nm)
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20
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驅(qū)動(dòng)方式
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無(wú)鐵芯直線電機(jī)
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導(dǎo)軌
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一體式靜壓導(dǎo)軌
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雙向重復(fù)精度(μm)
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0.4
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無(wú)修正定位精度(μm)
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1.2
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直線度(μm)
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2
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2.5
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3
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3
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俯仰(arcsec)
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4.5
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偏擺(arcsec)
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2.1
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主體材料及表面處理
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鋁合金，黑色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化處理
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中心負(fù)載(Kg)
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10/μm
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型號(hào)
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QF25-400S-BNA
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QF25-500S-BNA
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QF25-600S-BNA
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QF25-800S-BNA
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臺(tái)面尺寸(mm)
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290x200(運(yùn)動(dòng)方向)
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厚度(mm)
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189
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移動(dòng)量(mm)
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400
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500
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600
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800
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光柵尺分辨率(nm)
|
20
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驅(qū)動(dòng)方式
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無(wú)鐵芯直線電機(jī)
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導(dǎo)軌
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氣浮腳式靜壓導(dǎo)軌
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雙向重復(fù)精度(um)
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0.3
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無(wú)修正定位精度(μm)
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1.2
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直線度(μm)
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2
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3
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5
|
5
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俯仰(arcsec)
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2
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偏擺(arcsec)
|
2
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主體材料及表面處理
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大理石，鋁合金
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中心負(fù)載(Kg)
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15/um
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說(shuō)明 ：
1.以上測(cè)試數(shù)據(jù)在使用TMC-NET-2L 控制系統(tǒng)下，采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下，采用等級(jí)為VC-C 環(huán)境下隔振系統(tǒng)所測(cè)試；
2.測(cè)試用氣體0.5MPa 壓縮空氣，做過(guò)濾和除水工藝；
3.測(cè)試環(huán)境介于萬(wàn)級(jí)~十萬(wàn)級(jí)潔凈空間內(nèi)；
4.測(cè)試溫度20±1℃,濕度40~60%。
特點(diǎn)和選型指導(dǎo)
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項(xiàng)目
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xxxA
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xxxS
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xxxC
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材質(zhì)
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鋁合金
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大理石
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碳化硅陶瓷
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導(dǎo)軌長(zhǎng)度(mm)
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200~800
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400~3000
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400~2000
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外形尺寸(mm)
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超小~中
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中~超大
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小、中、大
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制作方式
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機(jī)加工
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磨削
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燒制
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重復(fù)精度(μm)
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0.3
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0.3
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0.25
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直線度(μm)
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1~3
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2~5
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2~3
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組合形式
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X, XY(小)
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X、XY、龍門(mén)
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X、XY、龍門(mén)
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造價(jià)(元)
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1~10
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5~100
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50~1000
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尺寸圖：
13810146393
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